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        切粒機滾刀機械裝置誤差剖析?

        • 發表時間:2021-01-11 12:38:01
        • 來源:
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          對于采用靜態聚焦的振鏡式物鏡后掃描模式,因為其聚焦面為球面,以工作面中心為聚焦基點,因此越遠離工作面中心,切粒機滾刀離焦誤差越大,聚焦光斑的畸變越大。

           無論是物鏡前掃描模式還是物鏡后掃描模式,從切粒機滾刀輸入圖形到在工作面上掃描出圖形,都要通過光學變換、機械傳動以及伺服控制等過程,是一個十分簡單的函數關系?,F實狀況下,輸入圖形與工作面上的掃描圖形是逐一對應的,無失真的。然而實踐運用中,光學變換的誤羞、機械裝置誤差以及控制上的誤差均會形成掃描圖形的失真。

          切粒機滾刀機械裝置誤差束從器進口到構成工作面上的最終掃描點,普通需求通過擴束準直、反射以及聚焦三個環節。每個環節不可避免地都會因為機械安裝的裝置誤差導致束偏離整個光路的軸線。如采用F-Theta透鏡的振鏡式物鏡前掃描模式,掃描振鏡的中心軸線與F-Theta透鏡的法線很難保持分歧,從而導致最終掃描圖形的偏向。

          振鏡式掃描系統的誤差次要包括束的聚焦誤差和在工作面上的掃描圖形誤差。在掃描運用中,工作面大多以平面為主。

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